特征

• 通过采用大容量 110cc 炉床，可以进行大量气相沉积。
• 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对蒸镀材料的影响极小。
• 通过在X轴和Y轴方向扫描束斑，即使是可升华的物质也可以顺利蒸发，消除了局部挖掘现象。（拥有日本砖利 831485 和 843447）
• 由于电子束 270° 偏转，灯丝具有较长的使用寿命，而不会暴露在蒸发材料的蒸汽中。
• 由于发射器组件可以很容易地安装和拆卸，因此可以更换灯丝、绝缘体等。