特征

• 采用大容量 110cc 4 点开关式炉床，可大量沉积多层膜。
• 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对沉积材料的影响极小。
• 通过扫描 X 轴和 Y 轴上的光束点，即使是为了净化物质，也可以消除挖掘现象，并且可以顺利进行蒸发。（归日本 831485、843447 所有）
• 由于电子束的270°偏转，它不会暴露在蒸发材料的蒸汽中，灯丝寿命长。
• 由于灯丝座可以很容易地安装和拆卸，因此很容易更换灯丝和绝缘体。
• 采用水冷式电磁线圈，可在高温环境下连续运行。
• 可选装炉床位置检测机构，可实现炉床旋转自动化。