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成都西野供应：ULVAC爱发科金属膜用EB枪

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科金属膜用EB枪
产品型号: EGK-3
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野供应：日本ULVAC爱发科金属膜用EB枪


成都西野供应：ULVAC爱发科金属膜用EB枪  的详细介绍

金属膜用EB枪

EGK系列

EGK-3

ULVAC

EGK-3 电子束蒸发器是基于 ULVAC 多年积累和成熟的技术在性能和可靠性方面的改进。
该蒸发源有一个*大输入功率为 5 kW 的炉膛。
坩埚容量为3cc，适合实验和小规模生产。

特征

  • 采用容量为3cc的炉缸，适合小规模生产。
  • 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对蒸镀材料的影响极小。
  • 即使是升华物质，通过在X轴和Y轴方向扫描束斑，也可以消除局部挖坑现象，使整个坩埚顺利蒸发。（拥有日本砖利 831485 和 843447）
  • 电子束偏转225°，因此不会暴露在蒸发材料的蒸汽中，灯丝寿命长。
  • 由于发射器组件可以很容易地安装和拆卸，因此很容易更换灯丝和绝缘体。

规格

加速电压 -4kV 至 -10kV 直流
束流 *大 0.5A（-10kV 时）
*大输入 5kW（-10kV，0.5A）
X轴偏转线圈 0.4～3.5A -18VDCmax 
22Ω (20℃)
灯丝 0-6V 交流 40Amax
坩 体积 2.6cc
尺寸 21Φ×15.6Φ×10H
光束偏转角 225°
有效蒸发角 90°以上
沉积率 铝 5kW at 0.5μm/min 或更高
（在 Haas 正上方 250H）
冷却水量 哈斯 8L/min以上0.7MPa（*大压力）
线圈 1L/min以上0.7MPa（*大压力）
水温 15-25℃
外形尺寸 110W x 126H x 207D
大量的 约4公斤
适用电源 HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F
评论 建议冷却水的电阻率为 5 kΩ·cm 或更高。
Y轴偏转线圈 0 至 ± 1.2A ± 12VDVmax
（选项） 1.8Ω（20℃）
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