特征

• 采用坩埚容量为2.9cc的4点切换式炉床，可以进行任意多层膜的成膜。
• 电子束偏转225°，使其不暴露于蒸发材料上面，灯丝寿命长。
• 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对沉积材料的影响很小。
• 通过在X轴和Y轴方向扫描束斑，即使是可升华的物质也可以顺利蒸发，消除了局部挖掘现象。
• 由于发射器组件可以很容易地安装和拆卸，因此很容易更换耗材，例如灯丝和绝缘体。