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成都西野：ULVAC爱发科光学薄膜用EB枪

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科光学薄膜用EB枪
产品型号: EGO-1G
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野供应：日本ULVAC爱发科光学薄膜用EB枪


成都西野：ULVAC爱发科光学薄膜用EB枪  的详细介绍

光学薄膜用EB枪

自我系列

EGO-1G

ULVAC

它是基于ULVAC多年技术积累而设计的高可靠性EB枪。

特征

  • 高性能偏转线圈实现了出色的扫描性能和稳定且高度均匀的气相沉积工艺。

采用

  • 用于电子束沉积的蒸发源

规格

模型 EGO-1G EGO-40M EGO-206M EGO-406M
光束偏转角 270°
坩埚数量 0 四 6 6
坩埚容量 ―――― 10cc x 2 / 40cc x 2 20cc 40cc
冷却水量 坩 ―――― 10升/分钟 10升/分钟 10升/分钟
线圈 2升/分钟 ―――― ―――― ――――
外形尺寸 W × D × H 168 x 285 x 174 毫米 170 x 309 x 174 毫米 200 x 339 x 176 毫米 200 x 339 x 176 毫米
大量的 10公斤 18公斤 18公斤 18公斤
适用电源 HPS-1000N-G100 / G200
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