产品资料

成都西野：ULVAC爱发科安装溅射设备

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科安装溅射设备
产品型号: SRH-420MC
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野：ULVAC爱发科安装溅射设备SRH-420MC


成都西野：ULVAC爱发科安装溅射设备  的详细介绍
溅射装置负载锁定型

背面/安装溅射设备SRH系列

背面/贴装溅射装置 SRH 系列是以形成功率器件、WL-CSP、UBM 等金属膜为目的的量产装置。

特征

  • 兼容Φ125至Φ200 mm板
  • 兼容超薄晶圆（兼容自动转移*厚50μm）
  • *多支持5个进程
  • 可配备 ISM 方法的溅射蚀刻
  • 可以通过 ESC 进行高效冷却

采用

  • 电源装置
  • WL-CSP（用于电镀种子层）
  • UBM（阻隔金属）
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