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成都西野：ULVAC爱发科小型蒸发设备

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科小型蒸发设备
产品型号: VPC-061
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

将管架上的主泵・辅助泵・阀门配管・电气系统・圧力测量口等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。 适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。


成都西野：ULVAC爱发科小型蒸发设备  的详细介绍

小型蒸发设备

VPC 系列

VPC-061

ULVAC

将管架上的主泵・辅助泵・阀门配管・电气系统・圧力测量口等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。

特点

  • 桌面紧凑型，可节省安装空间。
  • 玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。
  • 可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。

规格

型式 VPC-061
真空性能 极限压力 1.3×10-３Pa 
6.6×10-４Pa（液体氮气使用时）
排气时间 4.0×10-３Pa/20min
1.3×10-３Pa/20min（液体氮气使用时）
真空槽 真空槽 玻璃钟罩（内径Φ150mm×高200mm)
馈通圈 3口(底面3)
基板推荐尺寸・*大尺寸※1 □25mm ・ □50mm（Max）
电源系统统 蒸发电极构成 1点式
蒸发电源・数量 SEREM PSE-150C・1 式 
0～10V 150A（Max)
排气系统统 主泵 油扩散泵（空冷）　50L/sec
液体氮气捕集器 有
補助泵 油回转泵 20L/min
油雾捕集器 选项
操作系统 主阀 蝶阀
補助阀 三通阀
自动泄露阀 ー
操作 手动
控制系统 皮拉尼真空计 选项
电离真空计 选项
设置 *大尺寸 (本体) 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H)
电源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
质量　　　　本体 28kg
电源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。

Utility

型式 VPC-061
所要时间/td> 本体 100V Single phase 50/60Hz 0.63kVA
电源 200V 单相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 D种 （接地抵抗値 100Ω以下）
组合连接 本体　1Φ　100V 橡胶带帽电缆 （带插头） 2m
Power supply　1Φ　200V 橡胶绝缘软性电缆（带R2.0-5接压端子） 2m

尺寸图

zu_vpc061.gif

蒸发电源　SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽内部构成

基本构成

zu_vpc060_060a_fc.gif

可选配件

●请点击查看各个选项

zu_vpc061_op.gif

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