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成都西野：ULVAC爱发科小型蒸发设备

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科小型蒸发设备
产品型号: VPC-1100
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。 适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。


成都西野：ULVAC爱发科小型蒸发设备  的详细介绍

小型蒸发设备

VPC 系列

VPC-1100

ULVAC

将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。
适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。

特点

  • 玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。
  • 可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
  • 通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发。
  • 更改为EB规格，可成膜高熔点的材料。
  • 蒸发设备带有脚轮，移动更为容易。
  • 带有调节器，可确保设置的**性。

规格

型式 VPC-1100
真空性能 极限压力 4.0×10-４Pa 
1.3×10-４Pa（液体氮气使用时）
排气时间 4.0×10-３Pa/10min
10-４Pa台/10min（液体氮气使用时）
真空槽 真空槽 玻璃钟罩（内径Φ390mm×高350mm)
馈通圈 20端口(側面14/底面6)
基板推荐尺寸・*大尺寸※1 □50mm ・ □220mm（Max）
电源系统 蒸发电极构成 3点式
蒸发电源・数量 SEREM PSE-150C・1 式 
0～10V 150A（Max)
排气系统 主泵※2 油扩散泵（水冷）　1100L/sec
液体氮气捕集器 有
補助泵 油回转泵　200L/min、2台
油雾捕集器 选项
操作系统 主阀 蝶阀
補助阀 三通阀
自动泄露阀 选项
操作 手动
控制系统 皮拉尼真空计 GP-1G
电离真空计 选项
设置 *大尺寸　　本体 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H）
电源 设备本体收纳
质量　　　　本体 313kｇ
电源 设备本体收纳

※1：*大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。
※2：准备了分子泵（TMP）的规格

效用

型式 VPC-1100
所要时间 本体 200V 3相 50/60Hz 5.0kVA
电源 100V 单相 50/60Hz 1.0kVA
接地端子 Ｄ种 （接地抵抗値 100Ω以下）
组合连接 本体　3Φ　200V 橡胶绝缘软性电缆（带R3.5-4压着端子） 4m
电源　1Φ　100V 橡胶绝缘软性电缆（带插头） 4m
所要水量 1.5 L／min　（水温：20～25℃、水圧：200kPa （表压））
组合连接 （ソケット） Rp1/4 （带有可触摸式配件）
推荐软管※ 涤纶软管（内径9mm×外径15mm）

※冷却水配管，请客户自行准备。

尺寸图

VPC-1100

zu_vpc1100.gif

蒸发电源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽内部构成

基本构成

zu_vpc1100_feed.gif

※我们将根据您的研发目的进行定制。

[1] 器皿
[2] 过滤器
[3] 服务端口（L）
[4] 服务端口（S）
[5] ゲージ端口
[6] ハーメチック端口
[7] シャッター
[8] 电极コモン
[9] 电极　１
[10] 电极　２
[11] 电极　３

可选配件

zu_vpc1100_op.gif

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