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成都西野：ULVAC爱发科小型蒸着装置

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科小型蒸着装置
产品型号: VTR-060M/ERH
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

将架台上的分子泵・辅助泵紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。 适用于清洁排气的基础研究开发等实验用途。


成都西野：ULVAC爱发科小型蒸着装置  的详细介绍

小型蒸发设备

DEPOX 系列

VTR-060M/ERH

ULVAC

将架台上的分子泵・辅助泵紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
适用于清洁排气的基础研究开发等实验用途。

特点

  • 台式,小型尺寸可以节省空间。
  • 配备涡轮分子泵。
  • 只需操作开关,即可实现高真空排气。
  • 具有可扩展性,可进行多层镀膜,基板旋转。
  • 适合低熔点金属镀膜。

规格

型式 VTR-060M/ERH
真空性能 极限压力 10-４台（真空层内无负荷清洁时） 
1.5×10-３Pa（选项规格）
排气时间 4.0×10-３Pa/20min（真空槽内无负荷清洁时）
真空槽 真空槽 圆柱形玻璃腔室（Φ236mm×Ｈ250mm)
基板 7端口（底面）
基板尺寸・*大尺寸 □25mm ・ □50mm（Max）
电源系统 蒸发电极构成 1点式
蒸发电源・数量 SEREM/PSE-150C・1式
0～10V 80A (MAX)
排气系统 主泵 分子泵(空冷)　60Ｌ/sec
補助泵 油回转泵 20L/min
油雾捕集器 OMT-050A
操作系统 主阀 选项（蝶阀）
補助阀 选项（三通阀）
自动泄露阀 选项（电磁阀）
真空槽排气阀 选项（泄露口）
操作 手动
控制系统 真空计 选项　(ISG1)
膜厚計 选项 (CRTM-6000G)
设置 *大尺寸　　本体 428mm(W)×438mm(D)×713mm(H)
电源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
质量　　　　本体 50Kg
电源 24Kg

效用

型式 VTR-060M/ERH
所要时间 本体 100Ｖ　单相　50/60Hz 0.6kVA
电源 100Ｖ　单相　50/60Hz 0.8kVA
组合连接 本体　1Φ　100V 橡胶绝缘软性电缆（带插头）4m
电源　1Φ　200V 橡胶绝缘软性电缆（带插头） 4m

※请准备2个系统的接地插座。

尺寸图

VTR-060M/ERH

zu_vtr060m_erh.gif

蒸发电源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽内部构成

基本构成

zu_vtr060m_erh_feed.gif

可选配件

zu_vtr060m_erh_op.gif

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