日本福乐FURORO吸附晶片用真空泵

小型真空泵 FV-30（通用型）的特点

• 通过将隔膜安装在密闭空间中，具有多级减压的结构，实现了在紧凑的机身中获得高真空压力的机构。

• 由于是电磁驱动，几乎没有机械磨损和接触，所以几乎不需要维护，是可以使用到膜片的理论耐久性值的长寿命型。

• HEPA 过滤器安装在进气和排气部件上。也可用于洁净室。此外，通过主机的透明窗口可以看到过滤器，因此您可以知道何时更换它。

• 由于机身结构密封，运行噪音也很安静。此外，与马达式相比，没有机械接触噪音，可以保持安静。

• 由于不需要压缩机等气源，只要有100V的插座就可以在任何地方使用。此外，通过与我们的真空镊子组合，可以扩大应用范围。

• 由于结构简化，与同类真空泵相比，它承诺在可靠性、寿命和功耗等方面具有***的性能。此外，现在可以***购买主机的价格。

规格

注1：泵流量和极限吸入压力值均在50Hz。在 60Hz 下使用时减少约 20%。
*此数据仅供国内使用。

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