日本福乐FLUORO适用于8寸晶元真空泵

日本福乐FLUORO 小型真空泵 FV-60-110（FV-60-240）

我们的真空泵具有可以在紧凑的机身中获得高真空压力的机构。产品阵容包括 FV-10、FV-30、FV-60 和 FV-XP 四种类型，它们用于广泛的市场，包括半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺。（适用于输送微小物体的【带吸/排功能的真空泵FV-W】可与我们的真空镊子组合使用。

• 一个紧凑的高真空压力
  膜片安装在一个封闭的空间内，以多级减压。
• 长寿命、免维护的
  电磁驱动减少了机械磨损和接触，几乎不需要维护。
• 
  HEPA 过滤器连接到清洁排放入口和排气口。也可用于洁净室。此外，通过主机的透明窗口可以看到过滤器，因此您可以知道何时更换它。（不包括 FV-10）
• 静音设计，静音性高
  机身结构密封，运行安静。此外，与马达式相比，没有机械接触噪音，可以保持安静。
• 灵活的规格
  不需要压缩机等气源，只要有100V的插座就可以在任何地方使用。此外，通过与我们的真空镊子组合，可以扩大应用范围。
• 成本性能
  由于结构简化，我们承诺与同类真空泵相比，在可靠性、寿命和功耗方面具有**的性能。此外，现在可以低价购买主机的价格。

小型真空泵 FV-60（高真空型）的特点

• 通过将隔膜安装在密闭空间中，具有多级减压的结构，实现了在紧凑的机身中获得高真空压力的机构。
• 由于是电磁驱动，几乎没有机械磨损和接触，所以几乎不需要维护，是可以使用到膜片的理论耐久性值的长寿命型。
• HEPA 过滤器安装在进气和排气部件上。也可用于洁净室。此外，通过主机的透明窗口可以看到过滤器，因此您可以知道何时更换它。
• 由于机身结构密封，运行噪音也很安静。此外，与马达式相比，没有机械接触噪音，可以保持安静。
• 由于不需要压缩机等气源，只要有100V的插座就可以在任何地方使用。此外，通过与我们的真空镊子组合，可以扩大应用范围。
• 由于结构简化，与同类真空泵相比，它承诺在可靠性、寿命和功耗等方面具有**的性能。此外，现在可以低价购买主机的价格。

注1：泵流量和极限吸入压力值均在50Hz。在 60Hz 下使用时减少约 20%。
*此数据仅供国内使用。

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