适用基板: 单轨: 50mmX70mm ~ 535mmX590mm 双轨: 50mmX70mm ~ 535mmX330mm 基板厚度: 0.6mm - 6.0mm 分辨率: 5um ~ 15um 外形尺寸: W1083 x D1445 x H1800(mm) 重量: 945KG
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