四川成都供应日本MALCOM马康SRS-2回流炉模拟测定装置

项目

规格

对象基板尺寸

长：70W×70L mm 高：保持面上 10mm以下

装置尺寸

652W×411D×425Hmm

加热方式

上面：热风・远红外线辐射過热　下面：远红外线辐射加热

冷却方式

外部气体(氮气或空气)导入
冷却用流量调整弁付

电源

3相 200V 50/60Hz 1.6kVA

外部气体

0.3～0.5MPa　100升/min (MAX)

炉内氧气浓度 (氮气使用时)

*低100ppm

基板托盘

平托盘

上面加热

热风式：约675W(约75W×3本×2列+约225W×1本)
※可以对标准管口进行偏差设定
红外线加热器：约360W

下面加热

红外线加热器：约360W

温度精度

5℃以内 (*大基板中央 50W×50L mm范围内)

测定温度

常温～330℃

测定点数

3点

氮气供给机能

流量调整阀　：100升/min

重量

约50kg

项目

规格

四川成都供应日本MALCOM马康SRS-2回流炉模拟测定装置计测方法

四川成都供应日本MALCOM马康SRS-2回流炉模拟测定装置测定范围

X轴方向：*大70mm
Y轴方向：*大70mm
Z轴方向：标准点0～3mm

变位计分辨能

*大0.2μm

X-Y轴驱动速度

*大45mm/s(加減速度除外)

四川成都供应日本MALCOM马康SRS-2回流炉模拟测定装置测定点

*大19点(以在任意的时间及温度内连续的计测指定范围)