以下为日本KONSEI近藤WHA-300AS叶片型晶圆卡爪特点： 根据客户的式样制作设计制作。实际经验丰富，请先向您咨询。边缘夹紧，不接触表里方面。 ■固定载波 请给所有搬送的事，可以对应所有的搬的姿势。防止装置的高速化防止笔芯。 ■晶圆表里非接触 只有边缘接触，有一点不担心伴随着和吸附伴随的触控。 ■清洁度班1对应 ■WHA系列 侧臂侧侧驱动 以上为日本KONSEI近藤WHA-300AS叶片型晶圆卡爪的特点介绍
■固定搬送 クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。 ■ ウエハ表裏に対して非接触 エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。 ■ クリーン度クラス1対応 ■WHA シリーズ サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
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