SIMCO ION 扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635
5635型Aerobar MP静电消除器是一款超低颗粒兼容产品，用于要求精细颗粒管理小于等于100nm的场所的静电消除，包括先进的半导体制造工艺。
特点 单晶硅电极在全球范围内具有****的采用记录，避免了由于超低颗粒特性和电极材料导致的金属污染风险 通过原始MP（脉冲调制）方法有效地将离子带入目标的高效静电消除 即使在100毫米距离和离子平衡下也可以使用小的潜在摆动特性，而且在棒长度上几乎没有偏差 智能控制电路自动管理离子发生状态和离子平衡 可拆卸1/4圈可更换电极有助于减少维护工时 潜在的摆动非常小的MP方法的特点，设置简易性也有效地作用于小保持在控制标准长离子平衡电位摆动 设置半导体前端EFEM对应的长度条 24 V DC驱动控制器的紧凑设计 高水平的全球支持网络 规范 5635型AeroBar MP 输入电压 24 V DC +/- 10％ 输出电压 高达约13.5kv pp可调 安装距离 100毫米至1000毫米（无空气吹扫） 离子生成方法 电晕放电方式 MP（脉冲调制）方式调制频率1〜33Hz 离子平衡 自动平衡调整方法 <+/- 10 V由于位置正下方的位置差异<+/- 10 v （600 mm距离） 电极 单晶硅电极可交换 吹扫气体 清洁干燥空气或N 2 *大吹扫压力 310 Kpa 臭氧量 <0.05 ppm（24小时积分值） 信号输出 报警IO开集输出 维 高度78毫米x深度34毫米x长度如下 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 毫米 外观 ABS树脂 扩展ISO Class 1,10 nm？ 关于扩展ISO等级1,10纳米？ION Systems专门定义了清洁度的定义，以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一个粒径10nm的
扩展ISO Class 1,10 nm？ 关于扩展ISO等级1,10纳米？ION Systems专门定义了清洁度的定义，以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一个粒径10nm的
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