随着用户对样品数据的需求更加多元化,对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下,更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更**的信息收集。
样品:包裹有机物的金属棒
样品提供:Vassar College, Chemistry Dept. Mr. Smart and Ms. Pineda
通过UD、MD、LD探测器同时采集信号的应用实例 (加速电压:1 kV) 通过UD、MD、LD探测器可以同时采集信号,UD可获取表面微细形状信息,MD可获取表面有机物包覆状态信息,LD可获取整体凹凸形貌信息。在同一个条件下,实现了获取信息的 大化。
使用单屏时,可以单通道、双通道、四通道显示样品信息,也可以显示CCD相机图像、样品台图像/SEM MAP图像等。而且操作画面上的工具栏可以任意移动、添加和删除。
1st显示屏专门用来显示图像,2nd显示屏用来显示操作面板画面。上图左图(1st显示屏)是通过SU7000观察到的钢铁中非金属夹杂物的图片。图中清晰呈现出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5个探测器捕捉到的图像以及SEM MAP图。右图(2nd显示屏)将操作面板菜单和图像历史记录窗口在同一个画面中显示,界面布局清晰明了。在实现实时监控图像的同时,操作性能也得到了进一步提升。
样品仓外观 标配18个附件接口
马达台外观 XY轴可移动距离为135×100 mm
样品仓可搭载 大直径为φ 250 mm; 高80 mm的样品。大开仓设计,标配18个附件接口。样品台可搭载XY轴 大移动距离为135×100 mm, 重2 kg的样品。搭载大型样品和功能样品台完全不成问题。
通过相机拍摄样品
将相机拍摄到的图像显示到SEM MAP画面上进行导航
SU7000可选配导航相机(*),迅速锁定要观察的位置。相机安装在样品仓内,插入样品后,可半自动拍摄样品的整体图像。该图像会被显示到导航画面(SEM MAP)窗口,因此,用户可以观察窗口中的图像判断位置。 大适用尺寸为φ 100 mm。
SU7000可用于环境改变的动态观察。低真空观察时,可以选用PD-BSED(背散射电子探测器)、UVD、MD等各种探测器(**)。
低真空环境的探测器选择 左图为通过MD(背散射电子),右图为通过UVD(二次电子)探测器观察到的金属氧化物纤维的情况。两张图分别清晰地呈现出氧化物的分散状态和纤维的堆积情况。
PD-BSED:响应速度提高 左图是以一般的响应速度,约每两秒扫描一次得到的图像;右图抑制了图像的漂移,使得整体的画质得到了大幅提升。随着响应速度的提高,更适用于In-Situ观察。
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