成都西野供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM）

点击看大图

如果您对该产品感兴趣的话,可以

产品名称: 成都西野供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM）

产品型号: CG6300

产品展商: 日本日立HITACHI

产品文档: 无相关文档

简单介绍

成都西野供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM）高解析度FEB测量装置（CD-SEM）CG6300通过电子光学系统的全新设计提高了解析度，并进一步提高了测量可重复性和图像画质。电子显微镜线圈能够选择从对象材料反射出的二次电子和背向散射电子，实现BEOL制程1的Via-in-trench2和3D-NAND、DRAM工程中的深沟槽・洞底的尺寸测量。成都西野供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM）

成都西野供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM） 的详细介绍

晶圆尺寸	Φ300 mm （SEMI 标准规格 V notched wafer）
自动装片	3 FOUP*4 -compatible random access
电源	单相AC200V、208V、230V、12kVA（50/60Hz）

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!