日本王子OSI画面处面系统APQS

日本王子OSI打印机评价系统APQS

在自动舞台上，为了扩大样品上的测量对象部分，安装了实体显微镜，可以根据变焦变倍的功能选择适当的放大倍率。另外，可以获得由氧化光源和光纤的落射照明装置更稳定的照明条件。

＞システム構成 ソフトウェア構成 測定項目 ハードウェア仕様

メインユニットのDA-7000はパーソナルコンピュータにフレームグラバがインストールされた構成となっており、CCDカメラからの画像をディスプレイ上の画像ウィンドウにライブ表示します。サンプルが自動ステージより指定した測定位 置に移動するとメインメモリに静止画像が取り込まれ、Windows XP上のソフトウェアで処理解析されます。メインユニットと自動X-Yステージはシリアルポートに接続されたステージコントローラを介してステージの移動命令とステージに取り付けられたリニアスケールの座標データを通 信します。

自動ステージにはサンプル上の測定対象部を拡大するために実体顕微鏡が取り付けられており、ズーム変倍機能により適当な拡大倍率が選択できます。またハロゲン光源とリングファイバによる落射照明装置により均一で安定した照明条件が得られます。

システム構成 ソフトウェア構成 ＞測定項目 ハードウェア仕様

線幅 アライメント 十字 アライメント ライン 輝度分布 面積率 一定間隔で連続印字されたライン画像について任意原点からの各ラインまでの距離（アドレス）、隣接するラインの中心距離（ラインピッチ）、各ラインの幅、隣接するライン間距離（間隙間隔）を同時に測定します。 CMYK4色の十字線について中心座標（任意原点に対する座標）を求め、印字が画像の中心になるように、視野の位置を微調整しながら印刷位置のアライメントの測定を行います。 CMYK4色のラインについて中心座標（任意原点に対する座標）を求め、印字位置のアライメントの測定を行います。 テストチャートのパッチやグレースケールについて、ステージを移動しながら各視野毎の輝度分布を測定します。データは256段階表示で、各視野毎の*大、*小、平均、ピーク輝度と輝度標準偏差を測定します。 サンプル上の任意箇所にステージを移動し、各視野毎の２値化面積を求めます。ドットの印字精度、再現性を評価します。

粒子 線の中心 輝度断面 レジスト ステージ座標取得 サンプル上の任意の箇所のドット１個１個について面積や周囲長など形状に関する特徴量を求めます。ドットの印字精度、再現性を評価します。 任意原点に対する、ライン画像の中心及び、上下エッジの座標値を測定します。ラインのうねりとエッジの凸凹の評価を行います。 各視野の中心部の輝度プロファイルデータを測定します。印字部のシャープネス評価や、濃度ムラ評価に応用できます。 サンプルの用紙に対して印字された交点の中心座標とサンプル端点（４点）座標をそれぞれ測定し、用紙に対する印字のずれ、曲がりを評価します。 自動（または半自動）測定時にステージが移動する座標を設定します。カメラの映像をモニタ上で確認しながら、測定時にステージが移動する座標値を取得します。

画像処理部：

コンピュータ　CPU Pentium4以上
OS Windows XP
画像処理モジュール PCIバス対応フレームグラバ
画像解像度 640画素(H)×475画素(V)
輝度階調 RGB 各8bit 256階調
画像解像度 約1μm/画素～約10μm/画素（顕微鏡倍率による）
ソフトウェア APQSソフトウェア
 DA-7000システムソフトウェア
 
 

 入力装置：

カラーCCDカメラ 1/3" 3CCD RGB
 
 

 光学系：

実体顕微鏡 対物レンズ１倍、ズーム変倍0.75～7.5、接眼レンズ10倍
照明装置 ハロゲンランプ光源、リングファイバ式落射照明装置
 
 

 X-Yステージ：

駆動方式 パルスモータ駆動
ストローク 500mm(X軸)×300mm(Y軸)
1パルス送り量 1μm、リニアスケール(X軸、Y軸)
ステージ面 A3サンプル搭載可能
その他 2軸制御ステージコントローラ、光学定盤、除震台付き架台、ジョイスティック（オプション）
 
 

日本王子OSI画面处面系统APQS

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