MEMS用途上,配备具有较深度焦点深度(*大±50微米(MICRON))之USHIO独特投影镜头,*适合对高低差异基板的曝光、及凹凸基板的曝光,甚至压膜光阻的曝光。此外,亦可透过背面对位(选购配备)对背面曝光。
・较深的焦点深度 配备具有*大±50μ焦点深度的投影镜片。 ・高精度校正 采用TTL测光方式。 直接使用各个显微镜观察遮罩/工作记号进行校正,因此可执行高**度校正。 ・光罩无损害 光罩与作产品完全不接触,因此不造成损坏,光罩可半长久使用。 ・抗污垢与残留异物的构造 可安装附薄膜的光罩,因此可忽视光罩类型面上的污垢执行曝光。 此外,为了在光罩类型面对焦,其构造可抗光罩上的污垢。 ・简易维护与操作 因为曝光时无须驱动,一年一次校正即可。操作与选单管理的重现亦完整。
・MEMS
・3D封装 ・重新接线层的曝光 ・各种电子零件 ・电源装置 ・SU8等压膜电阻等
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