具有适用于解析力3umL/S~20umL/S、及曝光区域φ100~300mm的各种类型(单面/双面、全部/部分等)。
・光罩无损害 采用光罩与工作件非接触的「投影曝光方式」。 遮罩是半长久使用,因此降低运转成本、防止接线缺陷、并提高良品率。 ・独特的回路比对方式校正 应用影像处理技术,以依回路比对方式的独特校正机构。 无须专用的校正记号,可依各种工作条件执行高**度校正。 ・较深的焦点焦度 通过焦点深度较深(±50~100μm)的投影镜片, 即使是有高低差异的基板或厚膜电阻,亦能执行锐利的类型描绘之曝光。 ・适用各种作产品 硅晶圆、印刷基本、滚筒及玻璃基板,适用工作与应用软件的搬运系统。
蓉公网安备 51012402000290号