达到超越以往的化学反应与反应速度。
・单一波长、低温处理 因为是单一波长，因此可选择会引起化学反应的紫外线， 并可达到不使对象物产生非必要反应或热的低温处理。 ・高效率 从电力转换为光能源的效率高（172nm型的转换率10%)，即使低电力亦可产生大的能量。 ・可瞬间亮灯灭灯 仅于必要时照射必要量的能量，因此具备「不需要快门」、 「实际上可延长使用寿命」等各种优点。 ・安装方向不受限制 灯的亮灯方向不受限制，可配合生产线做立面照射。
分光分布
半导体制程用装置实例
液晶制程用装置实例
・HDD光碟洗净 ・阻剂剥离 ・阻剂残渣的剥离 ・塑料基板的洗净 ・金属表面的清洗与重组 ・Low-k Cure ・PDP萤光体评估 ・分析评估前的洗净 ・气体分解 ・形成氧化膜 ・防止带电 ・乾燥 ・玻璃胶膜的贴合 ・纤维的改质 ・有机EL封装管的接合性提高 ・有机EL的工作函数増加
蓉公网安备 51012402000290号
