日本USHIO牛尾固化机紫外线光阻剂硬化/CHARGE ERASE装置「UNIHARD」四川成都优势供应

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产品名称: 日本USHIO牛尾固化机紫外线光阻剂硬化/CHARGE ERASE装置「UNIHARD」四川成都优势供应

产品型号: UNIHARD

产品展商: 日本USHIO牛尾

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简单介绍

日本USHIO牛尾固化机紫外线光阻剂硬化/CHARGE ERASE装置「UNIHARD」四川成都优势供应日本USHIO牛尾固化机紫外线光阻剂硬化/CHARGE ERASE装置「UNIHARD」四川成都优势供应

日本USHIO牛尾固化机紫外线光阻剂硬化/CHARGE ERASE装置「UNIHARD」四川成都优势供应 的详细介绍

紫外线照射装置，在LSI制造生产联机使用的紫外线阻剂固化、及电荷消除装置。

配备超高压UV灯与EXCIMER灯，应用在提升乾蚀刻时的耐电浆性、离子注入时的阻剂脱气与烧制、电荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各种用途。

特征

・高照度、均一度照射
初期照度是650mw/cm2以上（220～320nm）、且照度均匀度保证在±10%。
・采用依据SEMI规定之装载接口的EFEM（φ12寸装置）
φ12寸用装置、采用装载接口(依据SEMI) 的EFEM、
以及搬运系统采用无尘快速的2Finger搬运机器人、以达到高Throughput。
・采用WindowsNT PC的高操作性与以GEM300为准（φ12寸装置）
φ12寸用装置采用Windows NT PC，达到极佳的操作性。亦符合GEM300规定。
・灯管装置更换容易
灯管更换时无须调整，并降低装置的停机时间。
・配备照度一定方式与积累计算曝光方式（φ12寸装置：选购配备）
使用照度一定方式、并积累计算曝光方式、达到制程的稳定化与一致化。
・丰富的产品系列
对应φ6寸用装置（可与φ5寸以下共用）、φ8寸用装置（可与φ6寸以下共用）、
以及φ12寸专用装置等所有工具匣。此外，亦备有准分子(Excimer)灯的φ8寸用装置。