基板尺寸 :MAXΦ8Inch(150×150mm) **互锁:盖可选,真空标准装备 电源: AC100~240V 50/60Hz 5A 转速(rpm):0及20~5,000 滴下装置:可选(*多可安装2个臂) 外形尺寸(mm):503W×350H×580D 旋转精度:±1rpm(负载时) 使用的真空源:-0.08~-0.1MPa 旋转室内径: Φ360mm 盖:材质/亚克力 马达: AC伺服电机 重量: 32kg 编程功能:100步长×10模式转速、 时间(999.9sec)、 slopeposition调用编程No. 切换真空模式切换真空压力等 显示密钥保护功能
蓉公网安备 51012402000290号