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日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching AD-3000四川成都优势供应

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产品名称: 日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching AD-3000四川成都优势供应
产品型号: AD-3000
产品展商: 日本USHIO牛尾
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简单介绍

日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching AD-3000四川成都优势供应 日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching AD-3000四川成都优势供应


日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching AD-3000四川成都优势供应  的详细介绍
腔室： 不锈钢制
转速： 0～3,000rpm
基板尺寸：Φ1 Inch～Φ12 Inch
（220×220mm） 
互锁： 真空吸附确认传感器
腔室外盖互锁
喷嘴移动越位限制器
药液压力推送：加压泵压力推送式 
药液送出：喷洒式送出
（摆动喷嘴式）
电源： AC200V 3相 15A
步骤数目：48步
带有跳过、复制功能
尺寸：720W×500H（910H）×520D
（mm/阀门打开时） 
编程模式：10种模式
重量：60kg
工艺工序（标准）：显影液：1系统（2喷嘴）
冲洗：1系统（2喷嘴）
后冲洗：1系统 
主要可选项：药液温度管理系统
（加压方式）
各种基板架
设置用工作台
使用药液：碱性显影液

※规格可能会未经通知发生变更
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