日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching

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产品名称: 日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching

产品型号: ED-3000

产品展商: 日本USHIO牛尾

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简单介绍

日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching 日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching

日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching 的详细介绍

腔室:SUS（氯乙烯）制
转速:0～3,000rpm
基板尺寸:Φ1 Inch～Φ12 Inch
（220×220mm）
互锁:真空吸附确认传感器
腔室外盖互锁
喷嘴移动越位限制器
药液压力推送:加压泵压力推送式
药液送出:喷洒式送出
（摆动喷嘴式）
电源:AC 200V 3相 15A
步骤数目:48步
带有跳过、复制功能
尺寸:720W×500H（910H）×520D
（mm/阀门打开时）
编程模式:10种模式
重量:60kg
工艺工序:显影液：1系统（2喷嘴）
（标准）冲洗：1系统（2喷嘴）
后冲洗：1系统
主要可选项:药液温度管理系统
（加压方式）
各种基板架
设置用工作台
使用药液:酸性显影液

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